- 주요사양
- ○ 사용 전원: AC 100~240V, 50/60Hz
○ Z축 측정범위/해상도: 1,000㎛/0.02㎛~6.4㎛/0.0001㎛
○ X축 측정범위/해상도: 100mm/0.04㎛, 32,000point
○ 측정속도: 0.03~3mm/s
○ Z축 측정배율: 50× ~ 500K×
○ X축 측정배율: 0.1× ~ 20K×
○ 전동칼럼 상/하 이동속도: 3~10mm/s
○ 설치크기(W×D×H): 1250×850×1500mm
○ 진직도: (0.05+1.0L/1,000)㎛, 측정길이 L(mm)
- 용도
- 다이아몬드 촉침(detector)으로 측정 대상물 표면 위를, 매우 작은 일정 접촉력(0.75mN)을 유지한 상태로 표면을 주사(scanning)하며 높이 데이터를 고해상도로 측정하여 컴퓨터 프로그램으로 미세 표면형상을 얻는다. 이러한 표면형상의 디지털 정보로부터 표면 거칠기 및 미세형상 등을 측정하는 장비이다.